真空腔室Ф246×260mm,304優質不銹鋼
分子泵國產FF-63/80分子泵
前級泵機械泵
真空規全量程真空規
蒸發源電阻蒸發源(兼容金屬與有機蒸發)3組,可切換使用
蒸發電源2000W直流蒸發電源1臺,供3組蒸發源切換使用
控制系統PLC+觸摸屏智能控制系統1套
冷水機LX-300
膜厚儀FTM-107A單探頭
前級閥GDC-25b電磁擋板閥1套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺可拆卸式60×60mm,具備水冷、旋轉功能
真空管路波紋管、真空管道等1套
設備機架機電一體化
預留接口CF35一個
輔件備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
蒸發舟是一種用于物相沉積(PVD)技術的設備,廣泛應用于薄膜材料的制備。在這種過程中,固體材料(如金屬或化合物)被加熱到高溫,使其蒸發,并在真空中沉積到基材表面,從而形成薄膜。
當材料在蒸發舟中加熱到其蒸發溫度時,會產生顆粒或原子,這些顆粒會隨蒸氣流動,終在冷卻的基材上凝結,形成所需的薄膜。蒸發舟的主要優點是可以在相對低的溫度下進行沉積,同時能夠獲得較高的沉積速率和良好的膜質量。
在蒸發過程中產生的顆粒可以是單原子層、分子或小顆粒,具體取決于蒸發的材料和條件。這些顆粒在沉積過程中會根據其動能和溫度條件,形成不同的厚度和結構。
需要注意的是,蒸發的效率和膜的性質與蒸發舟的材料、溫度、壓力、基材的選擇等多種因素密切相關。
束源爐是一種特殊類型的核反應堆,主要用于研究和醫學應用。它的特點包括:
1. **中子源**:束源爐能夠產生大量的中子,這些中子可用于材料研究、核檢測、醫學成像及等領域。
2. **小型化**:與傳統的核反應堆相比,束源爐通常較小,設計上更為緊湊,適合于實驗室或等場所。
3. **低功率運行**:束源爐的運行功率相對較低,一般在幾千瓦到幾兆瓦之間,適合用于中子輻照實驗。
4. **安全性**:由于功率較低,束源爐的設計通常具有更高的安全性,反應堆的重要系統和結構更易于控制。
5. **多用途**:除了用于基礎科學研究外,束源爐還可用于材料分析、核醫學以及教育等多個領域,顯示出其多功能性。
6. **易于安裝與維護**:束源爐一般設計得更加便捷,方便安裝和日常維護。
7. **放射性廢物處理**:由于其低功率的特性,所產生的放射性廢物相對較少,處理相對簡單。
這些特點使得束源爐在研究和應用中發揮了重要的作用。

蒸發舟(或稱為蒸發小舟)在化學和材料科學中主要用于薄膜的制備和物質的蒸發沉積。它的基本功能包括:
1. **材料蒸發**:蒸發舟可以將固態材料加熱到其蒸發溫度,使其轉變為氣態,通過真空或惰性氣體環境將蒸發出的顆粒沉積在基材上。
2. **薄膜沉積**:通過控制蒸發過程可以在基材上形成均勻、薄的薄膜,這對于制作電子器件、光學涂層等重要。
3. **材料選擇性**:蒸發舟可以用于多種材料(如金屬、氧化物、聚合物等)的蒸發,適應不同的應用需求。
4. **控制**:通過調整加熱功率和蒸發時間,可以控制沉積的厚度和質量。
5. **提高純度**:在真空環境中蒸發,可以減少雜質及氧化反應,得到較高純度的沉積材料。
6. **應用廣泛**:蒸發舟被廣泛應用于半導體制造、光學器件、太陽能電池、傳感器等領域。
通過這些功能,蒸發舟在材料的制備和研究中起到了關鍵的作用。

熱蒸發鍍膜機是一種用于物相沉積(PVD)技術的設備,主要功能包括:
1. **膜層制備**:通過加熱蒸發材料,使其轉變為氣態,并在基材表面沉積形成薄膜。可以用于制備金屬、絕緣材料或半導體薄膜。
2. **膜層厚度控制**:通過控制蒸發率和沉積時間,可以調節膜層的厚度。
3. **材料種類選擇**:可以使用多種材料進行蒸發,如金、銀、鋁、氧化物等,以實現不同的光學或電氣性能。
4. **真空環境控制**:在真空環境中進行鍍膜,降低空氣中的雜質對膜層質量的影響,提高膜層的致密性和均勻性。
5. **基材適應性**:可用于多種基材的鍍膜,包括玻璃、塑料、金屬等。
6. **功能性薄膜的制備**:可以制備不同功能的薄膜,如反射膜、抗反射膜、導電膜、光電膜等,廣泛應用于光電子器件、顯示器、傳感器等領域。
7. **多層膜制備**:可實現多層膜的疊加,制造復雜結構以滿足特定的光學或電氣特性。
這些功能使得熱蒸發鍍膜機在材料科學、電子、光學等領域有著廣泛的應用。

桌面型熱蒸發鍍膜儀是一種用于薄膜沉積的設備,廣泛應用于材料科學、光學、電子工程以及其他領域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:通過熱蒸發的方法,將材料加熱到其蒸發點,使其以蒸氣形式噴發并在基材表面凝結形成薄膜。
2. **膜厚控制**:設備通常配備有膜厚監測系統(如晶體振蕩器),可實時監測沉積膜的厚度,確保膜厚達到預期要求。
3. **材料選擇**:可以使用多種材料進行沉積,如金屬、氧化物、氮化物等,適應不同的應用需求。
4. **真空環境**:設備在高真空環境中操作,以減少氣體分子對沉積薄膜的干擾,提高膜的質量。
5. **基材加熱**:某些設備可以加熱基材,提高材料的附著力和薄膜的均勻性,改善薄膜質量。
6. **多層沉積**:能夠進行多層膜的沉積,適用于需要不同功能層疊加的應用。
7. **閥門控制和氣體引入**:可以控制沉積環境中的氣體成分,以便進行特定的化學反應或改善膜的性能。
8. **用戶界面**:一般配備有友好的用戶界面,方便操作人員設置參數、監控過程和記錄數據。
這種設備通常適合實驗室研究和小規模生產,因其體積小、操作簡單而受到廣泛歡迎。
小型熱蒸發鍍膜機廣泛應用于多個領域,主要適用范圍包括:
1. **光學元件**:用于制作光學薄膜,如反射鏡、抗反射膜、分光膜等,廣泛應用于鏡頭、光學儀器等。
2. **電子器件**:在半導體器件、電路板等制造中,鍍膜可以用于形成導電層、絕緣層及其他功能性薄膜。
3. **太陽能電池**:用于太陽能電池的鍍膜,提高光電轉換效率。
4. **顯示器件**:應用于LCD、OLED等顯示屏的薄膜制作,提高顯示效果和耐用性。
5. **裝飾性涂層**:用于制造裝飾性涂層,如金屬鍍層、彩色薄膜等,增強產品的美觀性。
6. **傳感器**:用于傳感器表面的功能性涂層,提高靈敏度和選擇性。
7. **研究和實驗室**:在材料科學和物理等研究中,用于制備薄膜材料,探索其性質和應用。
由于小型熱蒸發鍍膜機具有操作簡單、靈活性高等優點,適合于小批量生產和科研試驗,因此在以上領域得到了廣泛使用。
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